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環(huán)形封裝PZT壓電陶瓷促動(dòng)器

更新時(shí)間: 2020-01-19

封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器集成高可靠性、疊堆式、低壓/高壓PZT壓電陶瓷,外部由柱形金屬外殼保護(hù)。適當(dāng)?shù)膬?nèi)部機(jī)械預(yù)載力可適用于高負(fù)載、高動(dòng)態(tài)應(yīng)用。它非常適于集成到定制型運(yùn)動(dòng)設(shè)備,提供納米級(jí)分辨率,行程可長(zhǎng)達(dá)260微米,微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,且外形殼體非常緊湊。 

封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器的大出力特點(diǎn),使其非常適于機(jī)床、主動(dòng)振動(dòng)絕緣或自適應(yīng)力學(xué)等;小體積、高諧振頻率的特點(diǎn)又使其非常適于掃描顯微、激光調(diào)諧、光束偏轉(zhuǎn)、膜片鉗或顯微光刻等應(yīng)用。 

封裝壓電陶瓷促動(dòng)器可分為開(kāi)環(huán)(無(wú)定位反饋傳感器)和閉環(huán)(集成定位反饋傳感器)版本。開(kāi)環(huán)下,它的分辨率是無(wú)限制的,主要受控制設(shè)備的噪聲限制,而閉環(huán)版本,會(huì)解決壓電陶瓷本身的遲滯和蠕變問(wèn)題,大幅改善其重復(fù)性和穩(wěn)定性。

所謂環(huán)形封裝壓電促動(dòng)器即中心具有通孔的壓電陶瓷促動(dòng)器,該通孔可用于通光,也可用于其他特殊結(jié)構(gòu)等。環(huán)形封裝壓電陶瓷配有鏡片轉(zhuǎn)接帽,以方便鏡片固定安裝。

以芯明天HPSt150/14-10/55VS22環(huán)形封裝壓電促動(dòng)器為例,它的中心通孔為φ9mm,詳細(xì)參數(shù)如下。

型號(hào):HPSt150/14-10/55VS22

標(biāo)稱行程47μm@150V

剛度50N/μm

推/拉力3000/250N

靜電容量11μF

諧振頻率9kHz

長(zhǎng)度L71mm(不含轉(zhuǎn)接頂端) 

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