配有電容位移測量驗(yàn)證的壓電控制器
配有電容位移測量驗(yàn)證的壓電控制器，如此之叫法，是因其本質(zhì)為壓電控制器，但與通常壓電控制器不同的是，它額外配有電容式位移測量模塊，該模塊可用于測量微運(yùn)動(dòng)型產(chǎn)品的位移量，測量范圍一般為0~200μm。該壓電控制器的功能及使用方法如下。
功能1：可用于驗(yàn)證閉環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)的位移量
閉環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)是可進(jìn)行位移閉環(huán)伺服控制的壓電納米運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)，它可對壓電促動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)位移量進(jìn)行實(shí)時(shí)的反饋及控制，在這種系統(tǒng)中，配備的壓電控制器為閉環(huán)壓電控制器，它由功率放大模塊、閉環(huán)伺服模塊、供電模塊組成，可選配上位機(jī)控制模塊。
該閉環(huán)壓電控制器配備電容式位移測量模塊后，可對壓電納米定位系統(tǒng)自身的位移量進(jìn)行測量。流程如下圖所示。
功能2：可用于驗(yàn)證開環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)的位移量
開環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)是可進(jìn)行基本運(yùn)動(dòng)控制的壓電納米運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)，它可對壓電促動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)位移量進(jìn)行控制，在這種系統(tǒng)中，配備的壓電控制器為開環(huán)壓電控制器，它由功率放大模塊、供電模塊組成，可選配上位機(jī)控制模塊。
該開環(huán)壓電控制器配備電容式位移測量模塊后，可對壓電納米定位系統(tǒng)自身的位移量進(jìn)行測量。流程如下圖所示。
功能3：可作為壓電納米定位系統(tǒng)的閉環(huán)控制
在開環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)中配備該電容式位移測量模塊，可作為壓電控制器的伺服控制，使得整個(gè)系統(tǒng)形成閉環(huán)控制。另外，集成該電容式位移測量模塊的壓電控制器，它也可以同“功能2”一樣，可對壓電納米定位系統(tǒng)自身的位移量進(jìn)行測量。2種流程如下圖所示。
功能4：可測量其他運(yùn)動(dòng)設(shè)備的位移量
若您正使用的其他壓電運(yùn)動(dòng)設(shè)備，位移范圍在0~200μm范圍內(nèi)，也可使用該電容式壓電控制器進(jìn)行測量。
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