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顯微鏡中的探針校準(zhǔn)通常需要一個(gè)中心通孔（用于光線通過(guò)）。 P15系列三維壓電掃描臺(tái)具有66×66mm的自由中心孔，非常適合透射光等此類相關(guān)應(yīng)用。運(yùn)動(dòng)行程為300μm/軸，具有較高的直線度，平臺(tái)內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)，使其具有更高的剛度和直線度。可選擇集成的閉環(huán)反饋傳感器保證納米精度的長(zhǎng)期高精度樣品調(diào)整。

P15系列壓電掃描臺(tái)還可以輕松與其他機(jī)械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。它們適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。

特點(diǎn)

•XYZ三維直線運(yùn)動(dòng)

•通孔尺寸66×66mm

•設(shè)計(jì)緊湊

•固態(tài)鉸鏈確保高可靠性

•納米級(jí)/亞納米級(jí)高分辨率

•行程范圍300μm/軸

•可選配閉環(huán)傳感器

階躍時(shí)間

閉環(huán)上升曲線，滿行程階躍時(shí)間60ms。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P15.XYZ300

運(yùn)動(dòng)自由度：XYZ

行程范圍（0~120V）：240μm/軸

行程范圍（0~150V）：300μm/軸

閉環(huán)傳感器：SGS

通孔尺寸：66×66mm

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：13/6 nm

閉環(huán)線性度：0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：<30μrad

推/拉力：50/10N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：0.1N/μm

空載諧振頻率（X/Y/Z）：450/550/120Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：60/10ms

承載能力：0.5kg

靜電容量：10.8μF/軸

材質(zhì)：鋁

重量：900g

線長(zhǎng)：1.5m

應(yīng)用案例：